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深圳市韵腾激光科技有限公司 
| 联系人：邓庆琳 女士 (销售) |
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| 电 话：0755-27840048-8036 |
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| 手 机：13714180480 |
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| 供应全自动晶圆激光打标系统 |
产品概述
•高产量：采用美国进口的 532nm DPSS激光工艺配合专用上下料的机械手装置，标记速度快、质量高；
•器件优质率：100％，可正面或反面高精度标刻；
•环保高效：在半导体制造过程中，实现了无尘的清洁打标。
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•加工质量高，无表面裂痕、标记字体美观大方、清晰度高；
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•可靠性高：激光器采用定制化设计，用户免调试、免维护；；
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•加工方式多样化：砷化镓、硅晶圆、蓝宝石或其它材料的芯片标刻，可加工各种尺寸晶圆；
1、XY轴定位精度±0.004 mm ；
2、打标精准可靠，字体一致性好；
3、打标清晰明了，边缘质量良好；
4、标记线宽最小15um，文字高度最小15um；
5、可实现硅晶圆、玻璃晶圆、蓝宝石、砷化镓等多种高分子材料标刻；
内容
精度范围
打标的定位精度
±3um
最小标刻文本线宽
15um
最小标刻文本的高度
15um
进行金属（铜合金）雕刻
YES |
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